隨著人們對生活品質的進步，對其生產品質的請求也無塵室工程越來越嚴厲。電子廠與其余行業在無塵車間的建設規劃時在於主要對靜電的控制：高濕度實際上減小了無塵車間、干淨室名義的靜電荷積聚。較低的濕度比擬合適電荷的積聚並成為埋伏的占有破壞性的靜電釋放源。
當相對濕度超越50%時，靜電荷開端敏捷消失，然而當相對濕度小於30%時，它們能夠在絕緣體或許未接地的名義上持續存在很長一段時光。
相對濕度在35%到40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、干淨室正常都運用額外的控制安裝以制約靜電荷的積聚。很多化學反應的速度，包括腐化過程，將隨著相對濕度的增高而加快。全部裸露在無塵車間、干淨室四周空氣中的名義都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些名義是由能夠與水反應的薄金屬塗層造成時，高濕度能夠使反應加速。榮幸的是，一些金屬，比方鋁，能夠與水造成一層保護型的氧化物，並阻擋進一步的氧化反應；但另一種情形是，比方氧化銅，是不占有保護才能的，因而，在高濕度的環境中，銅制名義更輕易遭到腐化。
總結電子行業無塵車間溫濕度的控制主要在於其生產工藝的請求：(上面我們舉例說明)
在精密機械加工跟計量等場所，為了防御因熱膨脹而引起的偏差，必須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許穩定耐高溫濾網幅度應根據加工精度決議。比方，在恆溫室裡對一根長500mm的標准尺刻線，工藝允許線間公役為2um，此中lum為尺溫變更所引起的PAO測試形變偏差，另1um為加工與量測偏差。1um折合尺溫變更量=0。20c[a為尺線膨脹系數，取10/um/(m?k)；l為尺長，m]，故工件溫度變更需在以內。
但由於工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的穩定傳人工件後，就要衰減。在設計恆溫系統時，正常總是以恆定環境空氣溫度為根據，故響應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。無塵室環境確效檢測因而，在肯定恆溫室參數跟選擇自動控制時，必須斟酌工件恆溫恆濕車間、圍護結構、空氣處理設備跟自控系統之間的靜態特征。
舉例二：
在電子行業制造車間是最主要發生靜電的處所，平日靜電會對產品造成短路乃至會造成員工導電暈倒變亂，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低於30%，如許即能夠增加靜電的發生，平日提議無塵車間的防靜電地區相對濕度不低於50%。過於干燥的空氣中易粉塵飛騰，電子廠無塵車間無特殊請求的情形下，溫度控制在22℃閣下，相對濕度控制在55～60%rh之間，在這種環境下，人們感覺恬靜，靜電也消逝了。
smt車間對溫度跟濕度有明確的請求：起首主要是為了錫膏能工作在一個較好的環境，溫度會影響錫膏的活性，對外面所添加的助焊劑的相干溶劑的活性有一定的影響。溫度高會增加其的活性，終極影響絲印貼裝及回流的後果。輕易出現虛焊，焊點不光芒等景像。濕度的巨細回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多無塵室空調水氣，會使回流時發生氣空，飛漸，連焊等景像。故smt恆溫恆濕車間溫濕度標准:溫度:24±2℃濕度:50±10%。
在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差請求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24um線性收縮，所以必須有±0。1度的恆溫，同時請求濕度值正常較低，由於人出汗以後，對產品將有傳染，特殊是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超越25度。濕度過高發生的成績更多。相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結露，假如發生在精密安裝或電路中，就會引起各種變亂。相對濕度在50%時易生鏽。
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